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半導體材料真空探針臺電學性能測試系統

簡要描述：半導體材料真空探針臺電學性能測試系統是一種能夠在高真空環境下進行精確測量和實驗的設備。其基本原理是利用真空環境下的物理現象和特性，對樣品進行各種實驗和測量。在高真空環境中，氣體分子很少，這有助于減少空氣阻力、空氣振動和其他干擾因素，從而獲得較為準確和可靠的實驗數據。

產品型號：CGO-2
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-02-28
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品牌	HUACE/北京華測	應用領域	化工,能源,電子,電氣,綜合

半導體材料真空探針臺電學性能測試系統

半導體材料真空探針臺電學性能測試系統

半導體材料真空探針臺電學性能測試系統產品參數：

腔體

型號：CGO-2

樣品臺尺寸：2英寸

樣品固定：樣品固定

觀察窗口：2英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：最多6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮 / 液氦

控制方式：開循環手動

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針座

X-Y-Z 移動行程：X-Y-Z 移動行程

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

探針夾具

線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

探針

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機械泵

冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機

外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高）約100kg

防震桌參數：

氣浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材質:不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸（長寬):可定制

平臺厚度：50 / 100 / 200mm

固有頻率:.5Hz - 2Hz

支撐腿:氣浮支撐腿

支撐腿數量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

半導體材料真空探針臺電學性能測試系統

真空探針臺外置探針臂

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